23.11.2022 23:38 Доступно подписчикам уровня «⚡Подписка» Подписаться за 300₽ в месяц Кочетов Алексей Эра российской микроэлектроники: догнать и перегнать... Эра российской микроэлектроники: догнать и перегнать... Комментарии 19 16591 Копировать ссылку Vkontakte Twitter Одноклассники #россия #наука #Развитие #росатом #Микроэлектроника #ASML #литография #фотолитография #EUV #ИФМ РАН